




實(shí)驗(yàn)室氣相色譜儀用氣注意事項(xiàng)
1、必須使用無(wú)水分和氧份的高純度的氮?dú)猓睦镉袦?zhǔn)分子預(yù)混氣,純度必須大于99.99%以上,否則GC無(wú)法工作。
2、使用前首先通氣1小時(shí)以上,才能加溫。
3、 樣品濃度一般為10ppm—1ppb,不宜過(guò)大。
4、不能分析與63Ni反應(yīng)或使63Ni形成揮發(fā)的化合物如氧化性化合物、酸、潮濕的鹵素、潮濕的硝1酸、氫氧化銨、PCB、HS、CO等。

準(zhǔn)分子預(yù)混氣的使用
可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過(guò)管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥門(mén)箱,而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn),于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前,會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤(pán)與制程控制模塊聯(lián)機(jī),包頭準(zhǔn)分子預(yù)混氣,以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制。氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng),但有的氣體如三氟化氯,硅1烷遇水反應(yīng),準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠商,這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。


準(zhǔn)分子氣體如何正確保存?
定期對(duì)容器進(jìn)行安全檢驗(yàn)
氣瓶是充裝準(zhǔn)分子氣體的容器,如果出現(xiàn)密封不良或其他問(wèn)題時(shí)會(huì)影響氣體的保存,所以當(dāng)氣瓶已經(jīng)達(dá)到規(guī)定的使用年限之后就要將其送往有部門(mén)進(jìn)行安全檢驗(yàn),只有在確保容器沒(méi)有損壞的情況下才方能繼續(xù)使用,此外,為了確保使用和保存的安全性,每瓶氣體至少要有一定的余壓。
要分類堆放
根據(jù)使用的目的不同標(biāo)準(zhǔn)氣體也有很多類型,如果企業(yè)有多種類型的標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí),要注意將其分類堆放,此外,準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠,嚴(yán)禁將其與可燃?xì)怏w與助燃?xì)怏w堆放在一起,也不要沾油臘、爆曬、以及重拋和撞擊,氣瓶的瓶身上也不能進(jìn)行引弧或電弧,裝卸時(shí)要?jiǎng)幼鬏p緩。


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